Micro Electronic Mechanical System
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작성일 24-04-02 09:40본문
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Micro Machine, MEMS 같은 동의어
초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동함
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